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德国ADL离子源电源09Z011 GG 12 Beam
?一、 公司及产品概述?
?公司信息?:ADL Analoge & Digitale Leistungselektronik GmbH,位于德国达姆施塔特(Darmstadt),自1992年起运营。
?产品用途?:为离子束和等离子体工艺技术提供电源,广泛应用于蚀刻、溅射等领域,特别是在微电子、光学和传感器等创新应用中。
?核心特点?:所有电源单元均提供模拟或数字接口,并可根据客户需求定制其他输出电压或输出功率。
?二、 产品系列及主要型号?
手册列出了多个电源型号,按功能主要分为以下几类:
?加速器电源 (Accelerator)?:
?GG 03?:输出功率300W,输出电压-1000V,输出电流300mA。
?GG 03.1?:输出功率30W,输出电压-1000V,输出电流30mA。
?GG 08?:输出功率800W,输出电压-1000V,输出电流800mA。
?束流电源 (Beam)?:
?GG 12?:输出功率1.2kW,输出电压+2000V,输出电流1A。
?GG 12.1?:输出功率200W,输出电压+2000V,输出电流100mA。
?中和器电源 (Neutralizer)?:
?GIP 10?:输出功率990W,输出电压33V,输出电流30A。
?GIP 10.1?:输出功率25W,输出电压25V,输出电流1A。
?放电电源 (Discharge)?:
?GDI 09?:输出功率900W,输出电压150V(对地浮动2kV),输出电流6A。
?阴极电源 (Cathode)?:
?GC 10?:输出功率1kW,输出电压35V(对地浮动2kV),输出电流30A。
?三、 通用技术规格?
?显示与控制?:大多数型号配备3?位数码管,用于显示电压和电流。操作模式为电流或电压控制(部分型号支持功率控制),可通过前面板手动设置或通过控制接口外部设置。
?设定点与精度?:设定范围为标称值的0-100%,输出电压或电流的输出精度为标称值的±1%。
?电源输入?:标准为230V AC(±10%),50/60Hz,带保护接地(PE)。功耗根据型号不同,从100VA到1500VA不等。
?冷却与机械?:
采用内置风扇进行风冷,环境工作温度为40°C。
运行噪音低于70 dB(A)。
标准机箱尺寸:宽度218mm(半19英寸),高度132.5mm(3HU),深度560mm。
重量(不含包装):11kg。
?四、 控制接口选项?
手册提供了多种可选的控制接口模块,包括:
?AS4?:模拟接口,用于U、I或P调节。
?AS4F?:快速数据传输的模拟接口。
?AS6?:模拟接口,用于U、I、P限制设定。
?Profibus DP?
?EtherCAT®?
?RS232/485
ADL09Z001
ADL09Z002
ADL09Z005
ADL09Z011
ADL09Z012
ADL09Z021
ADL09Z022
ADL09Z031
ADL09Z051
德国ADL离子源电源09Z011 GG 12 Beam