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商品详情
Impedans射频功率计Octiv Poly 2.0
品牌：Impedans
型号：Octiv Poly 2.0
公司介绍：
Impedans是一家爱尔兰的射频和等离子处理智能传感器服务商，主要提供用于射频和等离子过程监控的智能传感平台。其服务涵盖多个领域，包括半导体、真空镀膜、医疗器械、硬盘和航空航天等。
Impedans的技术优势在于其先进的测量方法和高精度的数据采集能力，这使得其在等离子体处理领域具有较高的市场竞争力。通过提供高质量的传感器和测量设备，Impedans在多个工业领域中赢得了良好的声誉。
产品介绍：
Octiv Poly 2.0 VI探头是一款多频在线射频电压、电流和相位测量系统，支持网络通信（可提供以太网Web服务协议、EtherNet/IP或EtherCAT）。该系统具有1%的准确度，能够可靠地实现腔室间匹配和过程重复性。其独特便捷的外形设计，便于进行改造以匹配机箱输出，从而方便直接进行等离子体监测。借助这种先进的VI探头技术，可以消除产品报废事件、端点检测错误和不必要的预防性维护等问题。
主要特点
单个传感器可选择5个频率，每个频率下最多有15个谐波。
通过我们先进的校准方法，在50Ω和非50Ω负载阻抗中具有无*比的功率精度（1%的真实精度）。
传感器运行重复性（<0.1%），能够真实测量等离子体过程漂移。
实时史密斯圆图视图，阻抗精度与离线矢量网络分析仪相当。
频率跟踪标准为基频的±10%，可定制用于互调频率监测。
卓越的脉冲射频能力，具有实时脉冲频率和占空比监测以及“时间分辨”模式。
USB、以太网、EtherCAT和串行通信协议，具有易于使用的API进行集成。
主要优势和应用
使用等离子体阻抗监测（PIM）和谐波谱技术清洁和蚀刻端点功能。
证明了对<1%开口面积比的蚀刻终点的检测，与多元OES终点检测器相比，具有更高的灵敏度。
检测晶圆放置问题、漏气、跨工艺污染和许多其他常见的等离子体故障。
测量整个腔室的健康状况，无需进行不必要的预防性维护。
通过实现故障检测和早期干预，成本效益显著。
相关型号：
Octiv Mono 2.0
Octiv Poly 2.0
Octiv Suite 2.0
品牌：Impedans
型号：Octiv Poly 2.0
公司介绍：
Impedans是一家爱尔兰的射频和等离子处理智能传感器服务商，主要提供用于射频和等离子过程监控的智能传感平台。其服务涵盖多个领域，包括半导体、真空镀膜、医疗器械、硬盘和航空航天等。
Impedans的技术优势在于其先进的测量方法和高精度的数据采集能力，这使得其在等离子体处理领域具有较高的市场竞争力。通过提供高质量的传感器和测量设备，Impedans在多个工业领域中赢得了良好的声誉。
产品介绍：
Octiv Poly 2.0 VI探头是一款多频在线射频电压、电流和相位测量系统，支持网络通信（可提供以太网Web服务协议、EtherNet/IP或EtherCAT）。该系统具有1%的准确度，能够可靠地实现腔室间匹配和过程重复性。其独特便捷的外形设计，便于进行改造以匹配机箱输出，从而方便直接进行等离子体监测。借助这种先进的VI探头技术，可以消除产品报废事件、端点检测错误和不必要的预防性维护等问题。
主要特点
单个传感器可选择5个频率，每个频率下最多有15个谐波。
通过我们先进的校准方法，在50Ω和非50Ω负载阻抗中具有无*比的功率精度（1%的真实精度）。
传感器运行重复性（<0.1%），能够真实测量等离子体过程漂移。
实时史密斯圆图视图，阻抗精度与离线矢量网络分析仪相当。
频率跟踪标准为基频的±10%，可定制用于互调频率监测。
卓越的脉冲射频能力，具有实时脉冲频率和占空比监测以及“时间分辨”模式。
USB、以太网、EtherCAT和串行通信协议，具有易于使用的API进行集成。
主要优势和应用
使用等离子体阻抗监测（PIM）和谐波谱技术清洁和蚀刻端点功能。
证明了对<1%开口面积比的蚀刻终点的检测，与多元OES终点检测器相比，具有更高的灵敏度。
检测晶圆放置问题、漏气、跨工艺污染和许多其他常见的等离子体故障。
测量整个腔室的健康状况，无需进行不必要的预防性维护。
通过实现故障检测和早期干预，成本效益显著。
相关型号：
Octiv Mono 2.0
Octiv Poly 2.0
Octiv Suite 2.0
