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商品详情
Impedans射频功率计Octiv Suite 2.0
品牌：Impedans
型号：Octiv Suite 2.0
公司介绍：
Impedans是一家爱尔兰的射频和等离子处理智能传感器服务商，主要提供用于射频和等离子过程监控的智能传感平台。其服务涵盖多个领域，包括半导体、真空镀膜、医疗器械、硬盘和航空航天等。
Impedans的技术优势在于其先进的测量方法和高精度的数据采集能力，这使得其在等离子体处理领域具有较高的市场竞争力。通过提供高质量的传感器和测量设备，Impedans在多个工业领域中赢得了良好的声誉。
产品介绍：
Octiv Suite 2.0 VI探头是市场上*先进的射频传感器，用于在线功率和阻抗测量，具有无*比的精度和功能。以1%的真实精度，可以自信地建立腔室间的匹配和过程可重复性。该传感器专为先进的研发和实时过程监测而设计。它将Octiv Mono的脉冲监测功能和Octiv Poly的谐波频谱功能与先进的功能相结合，如重建时域RF电压和电流波形，在数字化过程中使用专有的谐波相位解卷积技术，使离子通量的实时监测成为可能，当与工艺基板串联安装时。独特的是，该传感器允许过程电极作为平面朗缪尔探针发挥次要作用，从而能够确定等离子体密度和电子温度。
主要特点
在单个传感器上选择5个频率，同时测量多个频率。
通过我们先进的校准方法，50Ω和非50Ω阻抗的精度无*比。
传感器运行重复性（<0.1%）能够真实测量等离子体过程漂移。
单频和多频电压和电流波形显示。
离子通量监测能力与蚀刻和沉积速率直接相关。
谐波相位输出的基波，端点检测的关键参数。
所有这些都可用于脉冲射频，包括时间分辨模式（1微秒分辨率）和脉冲趋势模式。
主要优势和应用
在高功率下在线，性能相当于网络分析仪和示波器的组合。
使用等离子体阻抗和谐波谱分析的高级端点功能。
以比多元OES端点检测器更高的灵敏度检测蚀刻端点（<1%开口面积）。
离子通量、等离子体密度和电子温度的实时输出是可能的（见柏拉图探针）。
通过实现故障检测和早期干预，可以获得显著的成本效益。
USB、以太网、EtherCAT和串行通信协议，具有易于使用的API进行集成。
相关型号：
Octiv Mono 2.0
Octiv Poly 2.0
Octiv Suite 2.0
品牌：Impedans
型号：Octiv Suite 2.0
公司介绍：
Impedans是一家爱尔兰的射频和等离子处理智能传感器服务商，主要提供用于射频和等离子过程监控的智能传感平台。其服务涵盖多个领域，包括半导体、真空镀膜、医疗器械、硬盘和航空航天等。
Impedans的技术优势在于其先进的测量方法和高精度的数据采集能力，这使得其在等离子体处理领域具有较高的市场竞争力。通过提供高质量的传感器和测量设备，Impedans在多个工业领域中赢得了良好的声誉。
产品介绍：
Octiv Suite 2.0 VI探头是市场上*先进的射频传感器，用于在线功率和阻抗测量，具有无*比的精度和功能。以1%的真实精度，可以自信地建立腔室间的匹配和过程可重复性。该传感器专为先进的研发和实时过程监测而设计。它将Octiv Mono的脉冲监测功能和Octiv Poly的谐波频谱功能与先进的功能相结合，如重建时域RF电压和电流波形，在数字化过程中使用专有的谐波相位解卷积技术，使离子通量的实时监测成为可能，当与工艺基板串联安装时。独特的是，该传感器允许过程电极作为平面朗缪尔探针发挥次要作用，从而能够确定等离子体密度和电子温度。
主要特点
在单个传感器上选择5个频率，同时测量多个频率。
通过我们先进的校准方法，50Ω和非50Ω阻抗的精度无*比。
传感器运行重复性（<0.1%）能够真实测量等离子体过程漂移。
单频和多频电压和电流波形显示。
离子通量监测能力与蚀刻和沉积速率直接相关。
谐波相位输出的基波，端点检测的关键参数。
所有这些都可用于脉冲射频，包括时间分辨模式（1微秒分辨率）和脉冲趋势模式。
主要优势和应用
在高功率下在线，性能相当于网络分析仪和示波器的组合。
使用等离子体阻抗和谐波谱分析的高级端点功能。
以比多元OES端点检测器更高的灵敏度检测蚀刻端点（<1%开口面积）。
离子通量、等离子体密度和电子温度的实时输出是可能的（见柏拉图探针）。
通过实现故障检测和早期干预，可以获得显著的成本效益。
USB、以太网、EtherCAT和串行通信协议，具有易于使用的API进行集成。
相关型号：
Octiv Mono 2.0
Octiv Poly 2.0
Octiv Suite 2.0
